HIWIN上銀晶圓機器人中的各關鍵零組件，如滾珠絲杠、直驅電機等，皆由HIWIN上銀自行研發制造，取件直接，軟硬件垂直整合，可提供高質量的上銀晶圓機器人，提升您的競爭力，且可依客戶生產需求提供客制化服務。

 


HIWIN晶圓機器人
關鍵零組件
100%上銀自制
滾珠絲桿，直線導軌，軸承，DD馬達/直驅馬達，AC私服電機，控制器


特色

●采用HIWIN直驅馬達，重復精度小于土0.1mm

●高空間使用率，回轉半徑小


產業應用及案例
廣泛應用于

●半導體產業(晶圓、Frame)

●LED產業(藍寶石基板、擴晶環)

●光電產業(小型面板、光伏片)
半導體產業 - 晶圓搬運
半導體產業 - 晶圓翻轉搬運
LED產業 - 藍寶石基板搬運
LED產業 - Grip Ring(擴晶環)搬運
光電產業 - 小型面板搬運